二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

儀器中文名稱：飛行時間二次離子質譜儀
儀器英文名稱：Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer
儀器英文簡稱：TOF-SIMS

儀器設備說明：

儀器開放年度：2017年
廠牌及型號：德國 ION-TOF, TOF-SIMS V
重要規格：
1. 分析離子源：Ar⁺、Bi⁺
2. 濺射離子源：O₂^+、Cs⁺
3. 質量分析器：飛行時間式
4. 質量解析：> 10000
5. 質量範圍：> 10000
主要附件：
1. 五軸式樣品臺
2. 鉍離子槍
3. 氬氣團蔟離子槍
4. 氧/銫蝕刻槍

收費標準﹕

計畫付費: 表面成份分析收費：500元/件
縱深分佈分析收費：1,000元/件(小時)
平面影像分析收費：500元/件
電子槍：200元/件
(註) 1.儀器專家或技術員並列於作者群，收費折扣5折(五次送件)。
2.致謝欄有提及，收費折扣8折(五次送件)。
3.急件一周內(工作天)完成，收費1.5倍。
非計畫付費: 表面成份分析收費：2,800元/件
縱深分佈分析收費：5,600元/件(小時)
平面影像分析收費：2,800元/件
電子槍：200元/件
(註)急件一周內(工作天)完成，收費1.5倍。

連絡資訊：
儀器指導教授：王聖凱教授
TEL：(03)5715131-33360
E-MAIL：skwang@mx.nthu.edu.tw

儀器管理員：王瓊棋先生 / Mr. Chiung-Chi Wang
TEL：(03)5715131 Ext.35480 FAX：(03)5722915
E-MAIL：sims_nscric@my.nthu.edu.tw
儀器放置地點：國立清華大學化學系化二館116室

其它相關資訊：PDF下載 (服務項目、申請服務辦法、參考資料)

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