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二次離子質譜儀(TOF-SIMS)


 
儀器中文名稱:飛行時間二次離子質譜儀
儀器英文名稱:Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer
儀器英文簡稱:TOF-SIMS
儀器設備說明:
  • 儀器開放年度:2017年
  • 廠牌及型號:德國 ION-TOF, TOF-SIMS V
  • 重要規格:
    1. 分析離子源:Ar+、Bi+
    2. 濺射離子源:O2+、Cs+
    3. 質量分析器:飛行時間式
    4. 質量解析:> 10000
    5. 質量範圍:> 10000
  • 主要附件:
    1. 五軸式樣品臺
    2. 鉍離子槍
    3. 氬氣團蔟離子槍
    4. 氧/銫蝕刻槍

 

111年1月份起收費標準﹕
計畫付費
表面成份分析收費:500元/件
縱深分佈分析收費:1,000元/件(小時)
平面影像分析收費:500元/件
電子槍:200元/件
(註)
1.儀器專家或技術員並列於作者群,收費折扣5折(五次送件)。
2.致謝欄有提及,收費折扣8折(五次送件)。
3.急件一周內(工作天)完成,收費1.5倍。
非計畫付費
表面成份分析收費:2,800元/件
縱深分佈分析收費:5,600元/件(小時)
平面影像分析收費:2,800元/件
電子槍:200元/件
(註)
1.急件一周內(工作天)完成,收費1.5倍。

 

連絡資訊:
儀器指導教授:王聖凱 教授
TEL:(03)5715131-33360
E-MAIL:skwang@mx.nthu.edu.tw

儀器管理員:王瓊棋 先生 / Mr. Chiung-Chi Wang
TEL:(03)5715131 Ext.35480 FAX:(03)5722915
E-MAIL:sims_nscric@my.nthu.edu.tw

儀器放置地點:國立清華大學化學系化二館116
其它相關資訊:PDF下載 (服務項目、申請服務辦法、參考資料)

 

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