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高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡(HRFEGSEM)


 
儀器中文名稱:高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡
儀器英文名稱:
High Resolution Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope
儀器英文簡稱:
HRFEG-SEM
儀器設備說明:
  • 儀器開放年度:2015
  • 廠牌及型號:日本 JEOL,JSM-7610F
  • 重要規格:
    1. 加速電壓:0.1kV ~ 30kV
    2. 電子光源:In-lens Schottky Field Emission Electron Gun
    3. 放大倍率:x 10 ~ x 1000k
    4. SEI 解析度:1.0 nm(at 15kV)、 1.3 nm(at 1kV)
    5. 自動功能:對焦、像差修正、明亮、對比。
    6. 樣品台 : X::50mm , Y::70mm , Z:1 - 40mm
      Tilt angle: -5 to +700
      Rotation angle:360o endless(motor driven)
      Specimen holders:12.5(dia.) x 10(H) mm、32.0(dia.) x 20(H) mm
  • 主要附件:
    1. EDS(化學元素定性、定量和分佈影像分析)。
    2. 真空濺鍍鍍金機。
  • 儀器性能:
    1. FEG-SEM 比較傳統 SEM,在光源(FEG)和透鏡系統的改良,可有更佳的表面形貌影像分辨率,加上 EDX 附件可作微區成份分佈的分析。

 

111年1月份起收費標準﹕
計畫付費
委託操作:(兩小時為一時段)、自行操作:(三小時為一時段)
1.SEM拍攝:800元/時段
2.EDS元素分析:450元/時段
3.鍍金:250元/次
鍍金以10mA-30sec為一次的單位,以此為基礎增加電流及秒數就增加一次的次數。
[e.g.] 20mA 30sec:兩次、10mA 90sec:三次,......以此類推。
非計畫付費
委託操作:(兩小時為一時段)、自行操作:(三小時為一時段)
1.SEM拍攝:6,000元/時段
2.EDS元素分析:2,500元/時段
3.鍍金:1,500元/次
鍍金以10mA-30sec為一次的單位,以此為基礎增加電流及秒數就增加一次的次數。
[e.g.] 20mA 30sec:兩次、10mA 90sec:三次,......以此類推。

 

連絡資訊:
儀器指導教授:歐陽汎怡
 教授
TEL:
(03) 5715131 ext.34321
E-MAIL:fyouyang
@ess.nthu.edu.tw

儀器管理員:葉宜華 小姐
 / Ms. Yi-Hua Yeh
TEL:
(03) 5715131 ext.35257 / 35415
E-MAIL:xrpd
_nscric@my.nthu.edu.tw
儀器放置地點:國立清華大學工程與系統科學系三樓318室
其它相關資訊:PDF下載 (服務項目、申請服務辦法、預期回件時間、儀器開放時間、
                                          執照考核、參考資料)

 

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