高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡(HRFEGSEM)

儀器中文名稱：高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡
儀器英文名稱：High Resolution Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope
儀器英文簡稱：HRFEG-SEM

儀器設備說明：

儀器開放年度：2015年
廠牌及型號：日本 JEOL,JSM-7610F
重要規格：
1. 加速電壓：0.1kV ~ 30kV
2. 電子光源：In-lens Schottky Field Emission Electron Gun
3. 放大倍率：x 10 ~ x 1000k
4. SEI 解析度：1.0 nm（at 15kV）、 1.3 nm（at 1kV）
5. 自動功能：對焦、像差修正、明亮、對比。
6. 樣品台 : X：:50mm , Y：:70mm , Z：1 - 40mm
  Tilt angle： -5 to +700
  Rotation angle:360o endless(motor driven)
  Specimen holders：12.5(dia.) x 10(H) mm、32.0(dia.) x 20(H) mm
主要附件：
1. EDS（化學元素定性、定量和分佈影像分析）。
2. 真空濺鍍鍍金機。
儀器性能：
1. FEG-SEM 比較傳統 SEM，在光源（FEG）和透鏡系統的改良，可有更佳的表面形貌影像分辨率，加上 EDX 附件可作微區成份分佈的分析。

收費標準﹕

計畫付費: 委託操作：(兩小時為一時段)、自行操作：(三小時為一時段)
1.SEM拍攝：800元/時段
2.EDS元素分析：450元/時段
3.鍍金：250元/次
鍍金以10mA-30sec為一次的單位，以此為基礎增加電流及秒數就增加一次的次數。
[e.g.] 20mA 30sec：兩次、10mA 90sec：三次，......以此類推。
非計畫付費: 委託操作：(兩小時為一時段)、自行操作：(三小時為一時段)
1.SEM拍攝：6,000元/時段
2.EDS元素分析：2,500元/時段
3.鍍金：1,500元/次
鍍金以10mA-30sec為一次的單位，以此為基礎增加電流及秒數就增加一次的次數。
[e.g.] 20mA 30sec：兩次、10mA 90sec：三次，......以此類推。

連絡資訊：
儀器指導教授：歐陽汎怡教授
TEL：(03) 5715131 ext.34321
E-MAIL：fyouyang@ess.nthu.edu.tw

儀器管理員：郭俊毅先生 / Mr. Chun-Yi Kuo
TEL：(03) 5715131 ext.35257 Mobile：0988-123474
E-MAIL：fegsem_nscric@my.nthu.edu.tw
儀器放置地點：國立清華大學工程與系統科學系三樓318室

其它相關資訊：PDF下載 (服務項目、申請服務辦法、預期回件時間、儀器開放時間、
執照考核、參考資料)

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