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國立清華大學貴重儀器中心

 

高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡(HRFEGSEM)


 
儀器中文名稱：高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡
儀器英文名稱：High Resolution Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope
儀器英文簡稱：HRFEG-SEM
儀器設備說明：
  • 儀器開放年度：2015年
  • 廠牌及型號：日本 JEOL,JSM-7610F
  • 重要規格：
    1. 加速電壓：0.1kV ~ 30kV
    2. 電子光源：In-lens Schottky Field Emission Electron Gun
    3. 放大倍率：x 10 ~ x 1000k
    4. SEI 解析度：1.0 nm（at 15kV）、 1.3 nm（at 1kV）
    5. 自動功能：對焦、像差修正、明亮、對比。
    6. 樣品台 : X：:50mm , Y：:70mm , Z：1 - 40mm
      Tilt angle： -5 to +700
      Rotation angle:360o endless(motor driven)
      Specimen holders：12.5(dia.) x 10(H) mm、32.0(dia.) x 20(H) mm
  • 主要附件：
    1. EDS（化學元素定性、定量和分佈影像分析）。
    2. 真空濺鍍鍍金機。
  • 儀器性能：
    1. FEG-SEM 比較傳統 SEM，在光源（FEG）和透鏡系統的改良，可有更佳的表面形貌影像分辨率，加上 EDX 附件可作微區成份分佈的分析。
收費標準﹕
計畫付費
委託操作：(兩小時為一時段)、自行操作：(三小時為一時段)
1.SEM拍攝：800元/時段
2.EDS元素分析：450元/時段
3.鍍金：250元/次
   鍍金以10mA-30sec為一次的單位，以此為基礎增加電流及秒數就增加一次的次數。
   [e.g.] 20mA 30sec：兩次、10mA 90sec：三次，......以此類推。

非計畫付費
委託操作：(兩小時為一時段)、自行操作：(三小時為一時段)
1.SEM拍攝：6,000元/時段
2.EDS元素分析：2,500元/時段
3.鍍金：1,500元/次
   鍍金以10mA-30sec為一次的單位，以此為基礎增加電流及秒數就增加一次的次數。
   [e.g.] 20mA 30sec：兩次、10mA 90sec：三次，......以此類推。
 

連絡資訊：
儀器指導教授：歐陽汎怡 教授
TEL：(03) 5715131 ext.34321
E-MAIL：fyouyang@ess.nthu.edu.tw

 

儀器管理員：吉宗驥 博士 /  Dr. Chong-Chi Chi
TEL：(03) 5715131 ext.33845  Mobile：0922-729528
E-MAIL：fegsem_nscric@my.nthu.edu.tw

 

儀器管理員：郭俊毅 先生 /  Mr. Chun-Yi Kuo
TEL：(03) 5715131 ext.35257  Mobile：0988-123474
E-MAIL：fegsem_nscric@my.nthu.edu.tw

 

儀器放置地點：國立清華大學工程與系統科學系三樓318室
其它相關資訊：PDF下載 (服務項目、申請服務辦法、預期回件時間、儀器開放時間、
                                          執照考核、參考資料)

 

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