化學分析電子能譜儀(ESCA)

儀器中文名稱：化學分析電子能譜儀
儀器英文名稱：ELECTRON SPECTROSCOPY FOR CHEMICAL ANALYSIS
儀器英文簡稱：ESCA

儀器設備說明：

儀器開放年度：2014年
廠牌及型號：ULVAC-PHI PHI 5000 Versaprobe II
重要規格：
1. X-ray光源為Scanning X-ray Monochromator (Al Anode )
2. 能量分析儀採180° spherical capacitor energy analyzer 加上multichannel detector
3. 真空系統≦6.7×10^-8 Pa
4. Energy resolution (能量解析度)≦ 0.5eV at Ag 3d^5/2 peak
5. analysis area (分析面積)≦ 10μm~1400μm
6. image(分析影像) ≧10μm
7. Max sample size(樣品尺寸) ≦ 25.4 mm (1 inch.) diameter
8. ARXPS (角度解析功能)
9. Zalar rotation depth profiling (迴旋式縱深分析)
主要附件：
1. UPS: Ultra Violet source (He紫外光光源)
2. 5KV Argon ion gun，可作清潔sample的表面和depth profile分析
3. 20KV C60 ion gun，可作有機物depth profile分析
4. Versatile preparation chamber (樣品前置腔): vacuum ≦5.0×10^-6 Pa； 5 parking positions
5. Hot and cold Stage : temperature range of -120° C to +500° C
6. 電荷中和系統: 自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統，中和樣品表面累積的電荷
儀器性能：
1. 測量表面或界面的電子結構，以瞭解原子的鍵結狀態

收費標準：

計畫付費: 1.委託操作基本費：450元/小時
2.離子槍蝕刻：100元/小時
3.UPS：100元/小時
4.變溫系統：100元/小時
5.中和槍：100元/小時
6.列印數據：10元/圖
註：自行操作酌收儀器保養費每小時350元，其餘皆與日間同。
非計畫付費: 1.委託操作基本費：3,500元/小時
2.離子槍蝕刻：1,000元/小時
3.UPS：1,000元/小時
4.變溫系統：1,000元/小時
5.中和槍：1,000元/小時
6.列印數據：100元/圖

連絡資訊：
儀器指導教授：林皓武教授
TEL：(03)5715131Ext.33879 FAX：(03)5722366
E-MAIL：hwlin@mx.nthu.edu.tw

儀器管理員：蔡靜雯小姐 / Ms. Ching-Wen Tsai
TEL：(03)5715131Ext.35423 FAX：(03)5722366
E-MAIL：auesca_nscric@my.nthu.edu.tw
儀器放置地點：國立清華大學工程四館材料所133室

其它相關資訊：PDF下載 (實驗數據、服務項目、申請服務辦法、預期回件時間、
參考資料)

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