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化學分析電子能譜儀(ESCA)


 
儀器中文名稱:化學分析電子能譜儀
儀器英文名稱:ELECTRON SPECTROSCOPY FOR CHEMICAL ANALYSIS
儀器英文簡稱:ESCA
儀器設備說明:
  • 儀器開放年度:2014年
  • 廠牌及型號:ULVAC-PHI PHI 5000 Versaprobe II
  • 重要規格:
    1. X-ray光源為Scanning X-ray Monochromator (Al Anode )
    2. 能量分析儀採180° spherical capacitor energy analyzer 加上multichannel detector
    3. 真空系統≦6.7×10-8 Pa
    4. Energy resolution (能量解析度)≦ 0.5eV at Ag 3d5/2 peak
    5. analysis area (分析面積)≦ 10μm~1400μm
    6. image(分析影像) ≧10μm
    7. Max sample size(樣品尺寸) ≦ 25.4 mm (1 inch.) diameter
    8. ARXPS (角度解析功能)
    9. Zalar rotation depth profiling (迴旋式縱深分析)
  • 主要附件:
    1. UPS: Ultra Violet source (He紫外光光源)
    2. 5KV Argon ion gun,可作清潔sample的表面和depth profile分析
    3. 20KV C60 ion gun,可作有機物depth profile分析
    4. Versatile preparation chamber (樣品前置腔): vacuum ≦5.0×10-6 Pa; 5 parking positions
    5. Hot and cold Stage : temperature range of -120° C to +500° C
    6. 電荷中和系統: 自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統,中和樣品表面累積的電荷
    儀器性能:
    1. 測量表面或界面的電子結構,以瞭解原子的鍵結狀態

 

111年1月份起收費標準﹕
計畫付費
1.委託操作基本費:450元/小時
2.離子槍蝕刻:100元/小時
3.UPS:100元/小時
4.變溫系統:100元/小時
5.中和槍:100元/小時
6.列印數據:10元/圖
註:自行操作酌收儀器保養費每小時350元,其餘皆與日間同。
非計畫付費
1.委託操作基本費:3,500元/小時
2.離子槍蝕刻:1,000元/小時
3.UPS:1,000元/小時
4.變溫系統:1,000元/小時
5.中和槍:1,000元/小時
6.列印數據:100元/圖

 

連絡資訊:
儀器指導教授:林皓武 教授
TEL:(03)5715131Ext.33879  FAX:(03)5722366
E-MAIL:hwlin@mx.nthu.edu.tw

儀器管理員:蔡靜雯 小姐 / Ms. Ching-Wen Tsai
TEL:(03)5715131Ext.35423  FAX:(03)5722366
E-MAIL:auesca_nscric@my.nthu.edu.tw
儀器放置地點:國立清華大學工程四館材料所133室
其它相關資訊:PDF下載 (實驗數據、服務項目、申請服務辦法、預期回件時間、
                                          參考資料)

 

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