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歐傑暨化學分析電子掃描微探儀(AES/ESCA)

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儀器中文名稱:歐傑暨化學分析電子掃描微探儀
儀器英文名稱:AES/ESCA Scanning Microprobe
儀器英文簡稱:AES/ESCA
儀器設備說明:
  • 儀器購置年月:2021年11月汰舊換新
  • 加入貴儀年月:1983年12月
  • 儀器經費來源:科技部、國立清華大學
  • 廠牌及型號:ULVAC-PHI PHI 5000 Versaprobe III
  • 重要規格:
    1. ESCA:X-ray光源為Scanning X-ray Monochromator (Al Anode),Energy resolution (能量解析度) ≦ 0.5eV at Ag 3d5/2 peak,analysis area (分析面積) 10μm~1400μm。
    2. Auger採LaB6電子槍 (0.2~10KV),beam size≦100nm。
    3. 能量分析儀採180° spherical capacitor energy analyzer 加上 multichannel detector。
    4. 真空系統≦6.7×10-8 Pa。
    5. ARXPS (角度解析功能)。
    6. Zalar rotation depth profiling (迴旋式縱深分析)。
    7. Max sample size (樣品尺寸) ≦ 25.4 mm (1 inch.) diameter。
  • 主要附件:
    1. UPS:Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (紫外光電子能譜)。
    2. LEIPS:Low Energy Inverse Photoelectron Spectroscopy (低能量反光電子能譜)。
    3. 5KV Argon Ion Gun,可作清潔sample的表面和depth profile分析。
    4. 20KV Ar Gas Cluster Ion Gun(GCIB),可作有機物depth profile分析。
    5. VersaLock chamber (樣品前置腔):vacuum ≦5.0×10-5 Pa;5 parking positions。
    6. Hot and cold Stage:temperature range of -140°C to +600°C。
    7. 電荷中和系統:自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統,中和樣品表面累積的電荷。
    儀器性能:
    1. 測量表面或界面的電子結構,以瞭解原子的鍵結狀態
111年1月份起收費標準﹕
計畫付費
1.委託操作基本費用:每小時450元(包括操作員的樣品處理時間,如清洗樣品等等。)
2.自行操作基本費用:每小時350元
3.使用Ar離子鎗:每小時100元
4.使用GCIB離子鎗:每小時100元
5.使用中和鎗:每小時100元
6.使用變溫系統(包含回溫時間):每小時100元
7.使用UPS:每小時100元
8.使用LEIPS:每小時100元
9.列印數據:每圖10元
非計畫付費
1.委託操作基本費用:每小時3,500元(包括操作員的樣品處理時間,如清洗樣品等等。)
2.使用Ar離子鎗:每小時1,000元
3.使用GCIB離子鎗:每小時1,000元
4.使用中和鎗:每小時1,000元
5.使用變溫系統(包含回溫時間):每小時1,000元
6.使用UPS:每小時1,000元
7.使用LEIPS:每小時1,000元
8.列印數據:每圖100元
連絡資訊:
儀器指導教授:林姿瑩 教授
TEL:(03)5715131 Ext.35341
E-MAIL:tzuying.lin@mx.nthu.edu.tw

儀器管理員:蔡靜雯 小姐 / Ms. Ching-Wen Tsai
TEL:(03)5715131Ext.35423  FAX:(03)5722366
E-MAIL:auesca_nscric@my.nthu.edu.tw
儀器放置地點:國立清華大學工程四館材料所127室(AES/ESCA)
其它相關資訊:PDF下載 (含服務項目、申請服務辦法、預期回件時間、參考資料等詳細
                                          資料)
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