歐傑暨化學分析電子掃描微探儀(AES/ESCA)

儀器中文名稱：歐傑暨化學分析電子掃描微探儀
儀器英文名稱：AES/ESCA Scanning Microprobe
儀器英文簡稱：AES/ESCA

儀器設備說明：

儀器購置年月：2021年11月汰舊換新
加入貴儀年月：1983年12月
儀器經費來源：科技部、國立清華大學
廠牌及型號：ULVAC-PHI PHI 5000 Versaprobe III
重要規格：
1. ESCA：X-ray光源為Scanning X-ray Monochromator (Al Anode)，Energy resolution (能量解析度) ≦ 0.5eV at Ag 3d^5/2 peak，analysis area (分析面積) 10μm~1400μm。
2. Auger採LaB6電子槍 (0.2~10KV)，beam size≦100nm。
3. 能量分析儀採180° spherical capacitor energy analyzer 加上 multichannel detector。
4. 真空系統≦6.7×10^-8 Pa。
5. ARXPS (角度解析功能)。
6. Zalar rotation depth profiling (迴旋式縱深分析)。
7. Max sample size (樣品尺寸) ≦ 25.4 mm (1 inch.) diameter。
主要附件：
1. UPS：Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy (紫外光電子能譜)。
2. LEIPS：Low Energy Inverse Photoelectron Spectroscopy (低能量反光電子能譜)。
3. 5KV Argon Ion Gun，可作清潔sample的表面和depth profile分析。
4. 20KV Ar Gas Cluster Ion Gun(GCIB)，可作有機物depth profile分析。
5. VersaLock chamber (樣品前置腔)：vacuum ≦5.0×10^-5 Pa；5 parking positions。
6. Hot and cold Stage：temperature range of -140°C to +600°C。
7. 電荷中和系統：自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統，中和樣品表面累積的電荷。
儀器性能：
1. 測量表面或界面的電子結構，以瞭解原子的鍵結狀態

收費標準：

計畫付費: 1.委託操作基本費用：每小時450元(包括操作員的樣品處理時間，如清洗樣品等等。); 2.自行操作基本費用：每小時350元
3.使用Ar離子鎗：每小時100元
4.使用GCIB離子鎗：每小時100元
5.使用中和鎗：每小時100元
6.使用變溫系統(包含回溫時間)：每小時100元
7.使用UPS：每小時100元; 8.使用LEIPS：每小時100元; 9.列印數據：每圖10元
非計畫付費: 1.委託操作基本費用：每小時3,500元(包括操作員的樣品處理時間，如清洗樣品等等。)
2.使用Ar離子鎗：每小時1,000元
3.使用GCIB離子鎗：每小時1,000元
4.使用中和鎗：每小時1,000元
5.使用變溫系統(包含回溫時間)：每小時1,000元
6.使用UPS：每小時1,000元; 7.使用LEIPS：每小時1,000元; 8.列印數據：每圖100元

連絡資訊：
儀器指導教授：林姿瑩教授
TEL：(03)5715131 Ext.35341
E-MAIL：tzuying.lin@mx.nthu.edu.tw

儀器管理員：蔡靜雯小姐 / Ms. Ching-Wen Tsai
TEL：(03)5715131Ext.35423 FAX：(03)5722366
E-MAIL：auesca_nscric@my.nthu.edu.tw
儀器放置地點：國立清華大學工程四館材料所127室(AES/ESCA)

其它相關資訊：PDF下載 (含服務項目、申請服務辦法、預期回件時間、參考資料等詳細
資料)

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