儀器設備說明：

     1.Bruker D8 DISCOVER Plus

• 5.4 kW銅靶旋轉陽極X光源（45 kV、120 mA），亮度6 kW/mm²
• 配置LYNXEYE XE-T及EIGER2 R 250K 二維偵測器
• Goebel Mirror（GM）可提供高強度平行光，適用於GIXRD、XRR、薄膜及表面不平整樣品的量測
• Ge(004)單色器可提供高解析Cu Kα1光束，適用於HRXRD、Rocking Curve及RSM量測
• 備有直徑1 mm及0.1 mm collimator，以及0.3 mm slit，可依樣品尺寸與量測需求調整光斑大小及光束條件
• 可進行一般XRD、GIXRD、In-plane XRD、HRXRD、XRR、RSM、Residual Stress、Pole Figure、Texture、Mapping、WAXS、SAXS、GISAXS及變溫XRD量測

     2.Bruker D6 PHASER

• 配置LYNXEYE XE-T偵測器
• 配置12位置自動旋轉樣品台，可連續裝載及量測最多12個樣品
• 適用於一般粉末與塊材的快速、例行及批次XRD量測
• 可使用一般模式、1D模式及High-resolution模式進行量測
• 另配置粉末變溫模組，可進行室溫至500°C的粉末變溫XRD量測

     3.儀器選擇

• 一般粉末、塊材、物相確認、快速篩選或多樣品批次量測，建議優先選擇D6 PHASER。
• 微量樣品、較弱繞射訊號或需要較高入射光強度時，建議選擇D6 PHASER，使用1.2 kW功率。
• 薄膜、單晶、磊晶薄膜、GIXRD、In-plane XRD、HRXRD、XRR及RSM量測，應選擇D8 DISCOVER Plus。
• 殘留應力、極圖、織構、微小區域量測及Mapping量測，應選擇D8 DISCOVER Plus。
• 粉末樣品在室溫至500°C範圍內進行變溫量測，可選擇D6 PHASER。
• 高於500°C、低溫、薄膜或需要特殊幾何的變溫量測，應選擇D8 DISCOVER Plus。

儀器性能：

• 一般粉末與塊材X光繞射（XRD）、低掠角X光繞射（GIXRD）、面內X光繞射（In-plane XRD）
• 高解析X光繞射（HRXRD）
• 搖擺曲線（Rocking Curve）
• 倒空間圖譜（RSM）
• X光反射率（XRR）
• 殘留應力量測（Residual Stress）
• 極圖與織構量測（Pole Figure／Texture）
• XRD Mapping：可依設定的X、Y位置進行多點自動量測，比較樣品不同區域的繞射結果
• 廣角X光散射（WAXS）、小角X光散射（SAXS）及低掠角小角X光散射（GISAXS）：本設備可進行小角度區域量測，但屬於多功能X光繞射儀，並非專用小角度X光散射儀。目前未配置beamstop，可測角度範圍、背景、解析度及適用樣品會受到光束準直、樣品至偵測器距離及裝樣方式限制。申請量測前須先與儀器管理員確認。
• 變溫X光繞射（Non-ambient XRD）

變溫量測：

     1.D8 DISCOVER Plus：

• 粉末及塊材高溫XRD：室溫至1,400°C
• 薄膜高溫XRD：室溫至1,100°C
• 低溫變溫XRD：−180°C至450°C
• 實際上限依樣品型態及量測條件而定，可設定升溫、降溫、恆溫時間及量測溫度，依溫度程序連續進行XRD量測

     2.D6 PHASER：

• 粉末變溫XRD：室溫至500°C
• 適合粉末及塊材樣品在中低溫範圍內進行快速變溫及連續量測

分析軟體：

• DIFFRAC.EVA：XRD資料顯示、峰值搜尋、背景處理、二維繞射影像積分、物相鑑定及PDF資料庫比對。
• DIFFRAC.LEPTOS：HRXRD、XRR、RSM及殘留應力資料處理與分析。
• DIFFRAC.TOPAS：全譜擬合、Rietveld精修、定量物相分析、微結構分析及晶體結構精修。
• DIFFRAC.TEXTURE：極圖、反極圖、取向分布函數（ODF）及織構組成分析。

委託量測送樣方式：

• 請將量測參數完整填寫於預約申請單，並將預約申請單與樣品一起送達。
• 樣品可於全天候24小時隨時送達，並放置於XRD室內的「小房間桌上」。
• 請勿將樣品放置於小房間外的公共空間或其他桌面。
• 品若因未放置於指定位置而發生遺失或損壞，本實驗室不負保管責任。
• 委託量測依實際收到樣品的時間安排先後順序。
• 如需寄回樣品，請於預約申請單上註明，並提供完整的收件人姓名、地址及聯絡電話；寄回運費由申請人負擔。

收費標準﹕

1.基本費：500元/次
2.自行操作：150元(每20分累計)

廣角繞射(WAG)/低掠角薄膜繞射(GIXRD)：
　1.計畫委託操作：250元/件(量測費用) + 250元/小時(時段費用，累計)
　2.非計畫委託操作：1,000元/件(量測費用) + 1,000元/小時(時段費用，累計)
　3.上述量測費用每件計20分鐘，超時累計
　4.委託操作每次量測可折抵一小時基本費

IP/XRR/HRXRD/RSM/Residual stress/pole figure：
　1.計畫委託操作：300元/件(量測費用) + 250元/小時(時段費用，累計)
　2.非計畫委託操作：1,500元/件(量測費用) + 1,000元/小時(時段費用，累計)
　3.上述量測費用每件計20分鐘，超時累計
　4.委託操作每次量測可折抵一小時基本費

變溫XRD：
　1.不開放自行操作
　2.基本費(計畫委託：1,000元/次；非計畫委託：2,000元/次)
　3.計畫委託操作：500元/30分(時段費用，累計)
　4.非計畫委託操作：2,500元/30分(時段費用，累計)
　5.高溫費用(超過1,000度)
　　計畫委託：500元/件；非計畫委託：1,000元/件
　6.粉末量測溫度範圍從室溫至1400度；薄膜量測溫度範圍從室溫至1100度

 

連絡資訊：
儀器指導教授：廖建能 教授
TEL：(03)571-5131#33843 (Lab：#33860)
E-mail：cnliao@mx.nthu.edu.tw

 

儀器管理員：張皓凱 博士 /Dr. Haw Kai Chang
TEL：(03)571-5131#35415
E-mail：xrpd_nscric@my.nthu.edu.tw

儀器放置地點：國立清華大學材料科技館材料所125室